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电子特气
半导体电子特气(ESG)被称为电子工业的“血液”,多属于剧毒或腐蚀性气体,许多不同的气体(腐蚀性气体、反应性气体和惰性气体)以不同的流速被输送到处理室,以在用于制造逻辑和存储芯片的硅晶片上产生关键特征。
特气气体种类较多,不同类产品的合成、纯化等工艺技术可能存在较大差异,且工艺路线长、过程复杂。电子特种气体对产品纯度、产品指标的稳定性和一致性要求极高,需要对生产过程中各类杂质含量进行精准有效的控制,工艺难度较大。
优耐特的运输容器,不仅以精确的数量和出色的可重复性输送这些气体,而且还严格保证了气体的纯度水平。
采用精细加工手段,选择合适的材料,制造电子特气生产装备,很好的保证其分离、提纯等工序的安全运行。
优耐特在设备的设计、制造、检验和测试方面拥有深厚的专业知识,包括:
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蒸馏塔 |
填料塔 |
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设备材料涵盖碳钢,高合金钢,镍基合金,钛及钛合金,锆及锆合金,钽及钽合金铌及铌合金。
半导体电子特气(ESG)被称为电子工业的“血液”,多属于剧毒或腐蚀性气体,许多不同的气体(腐蚀性气体、反应性气体和惰性气体)以不同的流速被输送到处理室,以在用于制造逻辑和存储芯片的硅晶片上产生关键特征。
特气气体种类较多,不同类产品的合成、纯化等工艺技术可能存在较大差异,且工艺路线长、过程复杂。电子特种气体对产品纯度、产品指标的稳定性和一致性要求极高,需要对生产过程中各类杂质含量进行精准有效的控制,工艺难度较大。
优耐特的运输容器,不仅以精确的数量和出色的可重复性输送这些气体,而且还严格保证了气体的纯度水平。
采用精细加工手段,选择合适的材料,制造电子特气生产装备,很好的保证其分离、提纯等工序的安全运行。
优耐特在设备的设计、制造、检验和测试方面拥有深厚的专业知识,包括:
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蒸馏塔 |
填料塔 |
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设备材料涵盖碳钢,高合金钢,镍基合金,钛及钛合金,锆及锆合金,钽及钽合金铌及铌合金。